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GF產(chan)品在多晶硅製造工藝中潜在的應(ying)用
GF产品在多晶硅制造工艺中潜在的应用
GF產品在多晶硅製造工藝中潜在的應用(yong)段(duan)
多晶硅(gui)生產合成的主工藝(yi)段:
第一段  HCl氣體:
氢氣(qi)和氯氣來自烧(shao)碱副產物,在石墨反應器燃烧生成HCL,水吸收后(hou)得到高純盐酸(suan)。
氢氣管線可以用GF公司PP-H
60度6bar的HCl液體可以用GF公司PP-H
我們替代的原(yuan)有設計材質為FR-PVC和鋼衬聚丙烯(PO)。
第(di)二(er)段 三氯氢硅(氣液混合物):
硅粉與HCl氣體在400 度条件下燃(ran)烧
此(ci)段不能采用GF產品,一般采用304L管,
第三段 精馏提純:
一般設26個(ge)精(jing)馏塔,產生大量尾氣;
第四段 還原:
還原工藝主流程(cheng)中使用316 钛管,不能采用GF產品;
辅助(zhu)流程(cheng)中有脱盐水製備和使用,可以(yi)用GF的UPVC 、PP-H或PVDF 。
第五段 尾氣吸收:
尾氣(含HCl氣體、CaO粉尘、煙尘等)多來自精馏提純段。
水洗過程中,俄(e)羅斯工藝用石灰乳浆液(10%的石灰乳(ru)浆液,温(wen)度20度,工作壓力10bar 以下)吸(xi)收尾(wei)氣,原有設計(ji)上采用鋼衬四氟管。
水洗過程中,中方技術用水或碱液(32%的NaOH ,温(wen)度20度,工作壓力10bar 以下)液吸收尾氣,原(yuan)有設計上采用(yong)FR-PVC 管。
目前我們推荐采用GF的PP-H.
第六段 CDI分离:
主工藝得到的(de)產品是混合(he)物,含有三氯氢硅、四氯化硅(gui)、HCl干氣體等多種成(cheng)分,需要進行分离。
分离技術一般(ban)來自美(mei)國(化工設計(ji)院不作)。
分离工藝中有脱(tuo)盐水輸送(song)管路,材料有可能與后處理段的(de)超純管(guan)路材料相同,也可能是稍低一等的材質GF PP-H 或PP-CDB 。
分离工藝中(zhong)大量的超純(chun)水,  可以(yi)采用GF的PVDF 。